问题：
化学上制取高纯硅的方法如下：①用碳在高温下还原二氧化硅，可制得含有少量杂质的硅，同时有CO生成；②将这种含杂质的硅在高温下与氯气（Cl 2）反应生成四氯化硅；③四氯化硅经提纯后，在高温下与氢气反应，就可以得到高纯度的硅，同时生成HCl．以上各步反应的化学方程式分别为：①______、②______、③______．
化学上制取高纯硅的方法如下：①用碳在高温下还原二氧化硅，可制得含有少量杂质的硅，同时有CO生成；②将这种含杂质的硅在高温下与氯气（Cl 2）反应生成四氯化硅；③四氯化硅经提纯后，在高温下与氢气反应，就可以得到高纯度的硅，同时生成HCl．以上各步反应的化学方程式分别为：①______、②______、③______．
参考答案：